Wahl Temp-Plate®

Wahl Temp-Plate®是一款专为集成电路测试和生产过程中精确温度控制而设计的半导体制造设备。该设备采用高精度热卡盘,可在晶圆表面保持均匀的温度分布,确保半导体器件热特性表征和可靠性测试的准确性。系统支持-65°C至+300°C的宽温范围,兼容各种探针台和自动化测试设备。其稳固的设计最大限度地减少了热漂移,为关键测量提供稳定性,是半导体制造领域研发和质量保证的重要工具。Wahl Temp-Plate®可有效提升先进芯片制造中的良率和性能验证水平。